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次世代のパワー半導体β型酸化ガリウムの結晶欠陥イメージング技術を開発 〜非破壊手法で欠陥を全数検出、結晶とパワーデバイスの高品質化を加速【JFCC、ノベルクリスタルテクノロジー、兵庫県立大学】
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