プレスリリース

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 分析機器事業部は、当社のウインドウレス型EDS検出器 （Ultim Extreme）を導入したJFEテクノリサーチ株式会社を取材し、2022年3月30日 （水）、導入事例としてウェブサイトにインタビュー記事をリリースしました。

Case Study｜導入事例 「JFEテクノリサーチ株式会社」
https://www.oxinst.jp/casestudy/jfe-tec

導入事例の概要
【導入製品】Ultim Extreme ウインドウレス型EDS検出器
【導入時期】2021年8月
【導入台数】２台
【導入前の課題】電子顕微鏡は加速電圧を下げると表面がよく観えるが、最も良好な画像を取得できる観察条件（＝Sweet spot）そのままで分析できるEDSがなかった。
【導入後のメリット】軽元素感度が飛躍的に向上し、低エネルギーでのX線も感度よく測れるようになり、Sweet spotでの分析が可能になった。従来は測定が困難であったM線やN線の活用が可能になった。

Extreme検出器がSEM/EDS分析を新時代に
JFEテクノリサーチ株式会社は、"ものづくり"の技術課題を解決するお客様のベストパートナーをめざして、ナノ領域から大型構造物まで幅広い対象において、最新の分析・試験設備を用い、信頼性の高い解析・評価技術を提供しています。2021年、カールツァイス社製の極低加速電圧SEM（Ultra Low Voltage Scanning Electron Microscope：ULV-SEM）に対応した当社オックスフォード・インストゥルメンツのウインドウレス型EDS検出器 （Ultim Extreme）を導入しました。なぜUltim Extremeを導入されたのか、またどのように使用されているのか、具体的な実例も交えて、JFEテクノリサーチ株式会社のフェローで物理解析のスペシャリストである佐藤馨氏と、同社材料解析部の中村貴也氏にお話を伺いました。

インタビューご回答者
JFEテクノリサーチ株式会社 フェロー Ph.D
佐藤　馨（さとう　かおる）

JFEテクノリサーチ株式会社　知多ソリューション本部　材料解析部　主査
中村　貴也（なかむら　たかや）

導入事例のコンテンツ
事例のインタビューでは、以下の内容を掲載しています。
・なぜ当社のウインドウレス型EDS検出器（Ultim Extreme）を導入したのか。
・当社EDSで良かった点
・当社EDSを使用した具体的な分析例（3件）
・オックスフォード・インストゥルメンツを知ったきっかけとは。
・今後の電子顕微鏡とEDSについて、どのような発展や進歩を希望されますか。

詳細は、下記ウェブサイトにてご覧ください。
Case Study｜導入事例 「JFEテクノリサーチ株式会社」
https://www.oxinst.jp/casestudy/jfe-tec

オックスフォード・インストゥルメンツについて
オックスフォード・インストゥルメンツ（Oxford Instruments）は、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。その歴史は、英国のオックスフォード大学から独立し創業を果たした1959年に遡ります。以来60年以上にわたり、イノベーションは弊社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学と、多岐にわたるアプリケーションを通じて、よりグリーンな世界への喫緊の課題解決に、弊社のコア技術が採用されています。物性物理研究用の極低温無冷媒希釈冷凍機や超電導マグネットをはじめ、電子顕微鏡用の元素分析装置、レーザーや光学式イメージング装置、更には原子レベルでの半導体プロセス用プラズマ技術でのデポジション・エッチングシステムなど、弊社の様々な先端テクノロジー製品を提供しています。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社は、Oxford Instrumentsが日本における事業推進を目的として設立した日本法人です。主に分析機器事業部、アンドール・テクノロジー事業部、アサイラム・リサーチ事業部、低温・超電導事業部、MRI事業部で構成されています。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
資本金：2億2016万1020円
代表者：代表取締役社長　　合田　豊治
株　主：Oxford Instruments Holdings 2013 Inc., Andor Technology Ltd.
主要取引先：国公立及び民間企業の研究開発機関、半導体デバイスメーカー、電子顕微鏡メーカー
事業内容：科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取
設　立：1991年6月27日
認証取得：ISO9001 2015（2017年取得）

本プレスリリースのお問い合わせ
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
マーケティング・コミュニケーションズ
〒140-0002
東京都品川区東品川3丁目32番42号 ISビル
TEL：03-6732-8961
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